9月2日音讯，科创板上市公司中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称中微公司，股票代码688012）发布公告称，该公司自2019年7月22日至8月30日累计取得政府合计人民币3743.94万元补助。
依据《企业会计准则第16号政府补助》的有关规定，上述政府补助资金中，与收益相关的政府补助为人民币1241.94万元，与财物相关的政府补助为人民币2502万元。以上各项政府补助均已到账。
中微公司是一家以我国为基地、面向全球的半导体微观加工设备公司，该公司于7月22日在科创板上市。
该公司聚集用于集成电路、LED芯片等微观器材范畴的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和 MOCVD 设备等关键设备的研制、出产和出售。
据介绍，自2004年建立以来，中微公司首要开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备Primo D-RIE，到目前为止已成功开发了双反响台Primo D-RIE、双反响台Primo AD-RIE和单反响台 Primo SSC AD-RIE三代刻蚀设备，包括65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米和5纳米微观器材的很多刻蚀使用。（小狐狸）
